“是啊，所长， 极紫外光波长足够短，按照原理，具有极好的成像效果，且能缩小芯片，但我们并没有办法掌握这个光源。”
“我也查过不少资料了，国外也才开始研究，需要花费很长时间，也不一定会有结果。”
“不然还是还是在深紫外光领域进行深挖吧？”
“估计不行，根据发展定律，这种光源能挖掘的潜力有限。”
“还只能从极紫外光着手了啊！”
“那肯定是啊，就是我们花国光学发展还不行吧！”
“唉，估计很难！”
“我们这也有专业的光学研究员的吧？”
“是啊，不然漫漫开始研究？”
众人十分激烈地讨论了起来，会议室一下子变得十分热闹。
何景没有说话，这些人都说得很对，眼下想要在光刻机方面有突破的话，那就需要掌握极紫外光这种光源，可现在的技术也是个问题，毕竟花国科学发展时间有限，很多方面不能和国外相比。
要知道即使在三十年之后，能掌握这种高端光源的国家也是屈指可数的，更何况是现在呢。
齐老听着他们争吵，目光不由得落在了何景身上。他咳嗽了几下，在场众人立马就安静了下来，所有人都看向了齐老。
齐老则是看着何景，“何教授，你是个什么想法？”
何景并没有惊讶，他这个师伯就是喜欢拉着他出来说话，便开口道：“大家都说得十分对，眼下想要突破的话的确是要研究极紫外光光源，所以极紫外光是必须要研究的。不过我们这边实力有限，所以最好还是寻求其他方面的帮助，Q大那边有个光学研究小组，听说他们在研究的就是各种光源，如果可以的话，我们能够寻求他们的帮助。”
何景记得在若干年之后，Q大光学研究所也研究出了极紫外光光源，这是很大的突破。
当然那个项目是在很久以后才开始的，所以一直到二十多年之后才成功，如果这一世能早一些开始的话，说不定几年之后便会成功了。光刻机的研究本就需要很长的时间，齐老他们规划的也是十年之内完成这项研究，所以不能太着急。
齐老闻言思考了起来，“你说的那个小组能力怎么样？你觉得他们大概需要多久能有突破？”
何景笑了下，无奈摇头，“这我就不知道了，毕竟我和那边也没有多少了解，只是大概知道有这个研究小组，我们可以先接触接触，或者在全球范围内找一找，大规模地寻求合作。或者直接召集光学方面的专家，过来这边研究。”
两种方式各有优劣，弄到研究所这边来的话，他们就比较有主导权，也能更方便进行实验，但自己管理的话，需要操心的东西就会多不少，还有便是会麻烦些。而且要召集那么些人过来，还需要研究那么长时间，也不一定那些人会愿意。
齐老点点头，并没有立马发表自己的看法，反而是看向了其他人。
“你们怎么看？”
“合作吧，专业的活还是要找专业的人干。”
“是啊，可以多放联系一下，如果有人正好在研究这个的话，那就好了。”
“嗯，还是要好好挑选下合作对象，毕竟实力还是十分重要的。”
“.....”
大部分人都倾向于合作，这样他们也能轻松不少。
齐老想了下，最终还是拍板合作这个方式了，“行，那就寻求外部合作吧，卢副，你尽快调查下合适的光学研究单位，看看那个单位对这个项目感兴趣。”
卢副所长立马点头答应，“好，我会尽快去办的。”
齐老满意点头，之后又看向其他人，“行吧，那我们继续说下面的问题。”
“何景，这次曝光的方式是怎么进行的？”
这个就是何景知道的了，赶忙道：“我们的单场曝光会采用动态扫描的方式，掩模板对着晶元同步进行扫描。”
“投影倍镜的倍率最好蛇追在4：1......”
“掩模台需要保持高速、高精确地同步运动.....”
何景解说非常详细，这是他比较了解的部分，所有人都专心地听着。
齐老面上露出十分满意的笑容，等何景说完他立马带头鼓起了掌，“不错，你这些日子没有白忙啊，你们尽快将东西制作出现，之后进行具体实验。虽然光源是个问题，但我们也能用其他光源做实验不是，不能白耽误时间了。”
“明白。”众人纷纷点头答应。
齐老又看向其他人，开始问起其他的问题。